超細顆粒物，在一些領域認為是指當量粒徑小于0.1μm的顆粒物，即PM0.1。細顆粒物”為空氣動力學當量直徑在2.5微米以下的顆粒物，即PM2.5。

空氣動力學粒徑檢測法

通過加速噴嘴加速氣溶膠的采樣氣流，采樣氣流經(jīng)過噴嘴后，氣流速度發(fā)生變化，氣流中不同粒徑的粒子由于慣性作用會產(chǎn)生不同的加速度，如大粒徑的粒子慣性大、加速慢，從而導致通過定寬檢測器的時間不同。粒子飛出噴嘴后，在檢測區(qū)域內(nèi)直線通過2 束相互重疊的平行激光產(chǎn)生光散射信號。一面橢圓鏡放置在激光軸的90°方向，選擇散射光信號并聚焦到雪崩式光電監(jiān)測器(APD)。雪崩式光電監(jiān)測器將光脈沖轉(zhuǎn)化成電脈沖，每個粒子產(chǎn)生單獨的連續(xù)雙峰信號。2 峰間的距離稱為飛行時間(Time of Flight)，它與顆粒的粒徑一一對應，同時該信號的峰高用來進行光學散射測量。檢測區(qū)域的結構提高了粒子的檢測性能并且的減小了光學散射強度測量中米式散射振蕩的干擾?？諝鈩恿W法檢測可以直接得到PM10 與PM2.5 的粒徑濃度分布，空氣動力學法受顆粒的形狀、折射率和密度等影響較小，與人體健康息息相關，因此使用廣泛，空氣動力學法檢測的儀器顆粒給出粒徑數(shù)量濃度或粒徑質(zhì)量濃度的分布數(shù)據(jù)，其粒徑譜儀需要用聚苯乙烯標準顆粒小球(PSL) 進行定期標定。

激光散射強度檢測法

激光散射強度檢測方法是真空泵將大氣氣溶膠抽吸入儀器，使用激光檢測器對不同粒徑大小的氣溶膠進行檢測。不同粒徑的氣溶膠通過激光檢測器產(chǎn)生不同強度的散射信號，大顆粒的散射信號強，小顆粒的散射信號弱。信號處理器將散射信號轉(zhuǎn)化成電脈沖信號，大顆粒的電脈沖信號強度高，小顆粒的電脈沖信號強度低。通過計算該脈沖信號的強弱得到不同粒徑的數(shù)濃度信息。一般檢測粒徑為0.3 至10 微米，甚至更大粒徑。激光散射法檢測時需要考慮顆粒的形狀、折射率、密度等因素，但光學散射粒徑與顆粒物的光學效應直接相關，決定了顆粒對光的散射和吸收性質(zhì)。因此對激光散射法檢測的儀器可以給出粒徑數(shù)量濃度分布信息，粒徑質(zhì)量濃度分布信息需要進行計算才能得到，該法儀器也需要用聚苯乙烯標準顆粒小球(PSL) 進行定期標定。