12.0潔凈室潔凈度－塵埃粒子數(shù)測(cè)量

潔凈室潔凈度－塵埃粒子數(shù)測(cè)量{塵埃粒子計(jì)數(shù)器的選型}

簡(jiǎn)易CLJ-3016H手持式激光粒子計(jì)數(shù)器

限于體量和重量，手持式激光粒子計(jì)數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其Z小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。

這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小，測(cè)量精度相對(duì)較低，但隨檢測(cè)人員移動(dòng)靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測(cè)，判定過(guò)濾設(shè)備的效率和密封性。這類產(chǎn)品可存儲(chǔ)一定量的采樣數(shù)據(jù)，備有下載軟件，均不帶打印裝置。

便攜式激光粒子計(jì)數(shù)器

這類產(chǎn)品較手持式的機(jī)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜些，測(cè)量精度較高，因而體量、重量也較大，一般用于潔凈室認(rèn)證檢測(cè)，通常有小流量與大流量之分，但均為多通道，根據(jù)所測(cè)試潔凈室的級(jí)別不同對(duì)所需機(jī)型可有所選擇。這類產(chǎn)品多數(shù)內(nèi)置打印機(jī)，也有的采取數(shù)據(jù)存儲(chǔ)后輸出打印方式。

用于潔凈環(huán)境實(shí)時(shí)監(jiān)控的激光粒子計(jì)數(shù)器及相關(guān)設(shè)備

為了在潔凈室運(yùn)行過(guò)程中，及時(shí)了解與判定潔凈室環(huán)境，特別是一些關(guān)鍵區(qū)域或部位所處的狀態(tài)，是否依然和始終符合生產(chǎn)或科研所規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)，潔凈室管理者需要對(duì)其主要技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控或周期性監(jiān)測(cè)。一些別潔凈室為此對(duì)一些關(guān)鍵指標(biāo)：潔凈度、溫度、濕度和惰性氣體等設(shè)置了連續(xù)巡查的裝置，以便隨時(shí)考核潔凈室的受控狀態(tài)。

遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)儀特點(diǎn)：

大流量1.0cfm（28.3升/分）和0.1cfm（2.83升/分），可Z小監(jiān)控0.2μm粒徑顆粒，2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)粒徑尺寸通道

市場(chǎng)上系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)儀普遍性能：

◆監(jiān)控粒徑0.2μm-10μm（在此范圍可選通道）

◆可集成進(jìn)入 FMS系統(tǒng)（計(jì)算機(jī)集中控制和管理的制造系統(tǒng)）

◆維護(hù)簡(jiǎn)便和方便校驗(yàn)數(shù)據(jù)輸出以太網(wǎng)和模擬通訊方式

◆內(nèi)置流量傳感器，流量偏差時(shí)能提早報(bào)警。

另一種順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)則僅在潔凈室各關(guān)鍵部位設(shè)置空氣采樣口，通過(guò)氣溶膠導(dǎo)管將所設(shè)置的多個(gè)采樣口與配置有激光粒子計(jì)數(shù)器及計(jì)算機(jī)的順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)相連。由計(jì)算機(jī)控制激光粒子計(jì)數(shù)器順序與各采樣口的氣溶膠導(dǎo)管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進(jìn)行粒徑與數(shù)量的測(cè)量，并將結(jié)果錄入計(jì)算機(jī)中。