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低溫恒溫水槽中換熱設(shè)備設(shè)計(jì)的前期準(zhǔn)備需要全面準(zhǔn)確地理解設(shè)低溫恒溫水槽計(jì)任務(wù)書對(duì)設(shè)計(jì)的要求,掌握工藝生產(chǎn)的某些條件如工作溫度、允許溫差壓力、允許壓降、工作流體的物理和化學(xué)性質(zhì)等。除此之外還應(yīng)包括設(shè)備熱負(fù)荷、低溫恒溫水槽可以提供的材料、加工條件等方面。這些資料是選型的依據(jù)、同時(shí)也是熱力計(jì)算的前提。對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻,單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻,激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻,等離子熔接、自動(dòng)包裝機(jī)、模具冷卻、洗凈機(jī)械、鍍金槽、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī)、樹脂成型機(jī)的成型部分等。
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