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Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-0用于半導體制造

來源:北京漢達森機械技術有限公司   2025年05月15日 13:19  

Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-0用于半導體制造

Bronkhorst High-Tech BV是一家成立于 1981 年的荷蘭公司,專注于設計、制造高質量的氣體和液體流量計、流量控制器以及壓力控制器。它在熱式和科里奧利質量流量計及壓力控制器領域處于市場較高地位。公司擁有 35 年以上的行業(yè)經(jīng)驗,其產(chǎn)品和技術廣泛應用于實驗室、工業(yè)及危險環(huán)境中,同時為 OEM 系統(tǒng)提供定制化流體控制解決方案。

 

主要產(chǎn)品:

Bronkhorst流量計

Bronkhorst氣體流量計

Bronkhorst液體流量計

Bronkhorst控制器

Bronkhorst壓力控制器

Bronkhorst流量控制器

 

Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-0-AA-000

D-6441-AGD 屬于熱式質量流量控制器(MFC),其工作原理基于熱傳導現(xiàn)象和閉環(huán)控制技術,

采用直接插入式 CTA傳感器,無旁路通道設計。傳感器包含兩根探針:

加熱元件:持續(xù)產(chǎn)生熱量。

溫度傳感器:監(jiān)測氣流帶走的熱量變化。

當氣體流經(jīng)傳感器時,氣流速度與熱量傳遞速率成正比。通過維持兩根探針之間的恒定溫差(ΔT),加熱元件所需的功率變化即可直接反映氣體的質量流量。

閉環(huán)流量控制機制

內置微處理器實時將測量值與設定值對比,通過調節(jié)精密控制閥的開度實現(xiàn)動態(tài)流量控制:

當實際流量低于設定值:微處理器增大控制閥開度,增加氣體流量。

當實際流量高于設定值:控制閥關小,減少流量。

該過程的響應時間約 0.9 秒,穩(wěn)定時間 < 2 秒,控制穩(wěn)定性達 < 0.2% 滿量程,適用于快速變化的工業(yè)場景。

抗干擾能力:IP65 防護等級可抵御粉塵和噴濺,且對濕度、污染不敏感。

多氣體兼容性:支持幾乎所有氣體類型,通過內置 8 種氣體校準曲線實現(xiàn)快速切換。

環(huán)境適應性:工作溫度范圍 0~50°C,存儲溫度 - 20~80°C,適用于嚴苛工業(yè)環(huán)境。

數(shù)字通信:標配 RS232 接口,可選配 CANopen、PROFINET 等工業(yè)總線協(xié)議,支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄。

廣泛用于半導體制造、實驗室氣體控制、化工過程等領域,尤其適合需要高精度、快速響應的小流量氣體測控場景。

mass-stream_flow-meters.jpg

 

型號示例:

Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-0-AA-000

Bronkhorst流量計D-6441-ABD-00-V-A-0-AA-000

Bronkhorst流量計D-6440-AGD-00-V-A-0-0A-000

Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-D-DA-000

Bronkhorst流量計D-6483-AGB-00-V-A-0-AA-000/BJ4.4

Bronkhorst流量計F-203AV-M50-ABD-LL-V

Bronkhorst流量計F-203AV-M50-AGD-55-V

Bronkhorst流量計D-6441-AGD-00-V-A-0用于半導體制造


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