白光干涉測厚儀的優(yōu)勢和設(shè)備的亮點(diǎn)有哪些

來源：廣州貝拓科學(xué)技術(shù)有限公司 2025年08月01日 08:29

　　白光干涉測厚儀是一種新型的表面形貌測量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點(diǎn)的干涉位置得到表面各點(diǎn)相對高度，重構(gòu)表面三維輪廓，實(shí)現(xiàn)對樣品表面三維形貌的測量。

　　白光干涉測厚儀的優(yōu)勢：

　　測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好。

　?、偈褂酶咝阅芎つ始す馄?，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻。

　?、谝怨獠ㄩL為測量單位，分辨率可達(dá)nm級。

　?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g(shù)，測量速度快。

　　④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。

　?、莘蛛x式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。

　　白光干涉測厚儀的設(shè)備亮點(diǎn)：

　　1、差值算法

　　同點(diǎn)測量應(yīng)用時(shí)，X射線測厚儀不能使用簡單的面密度差值算法，X射線測厚儀的差值算法，精準(zhǔn)的將凈涂布量的面密度計(jì)算出來。

　　2、探頭

　　采用低能量的X射線，核心部件進(jìn)口，污染、環(huán)保豁免、壽命長。X光束的能量可以通過調(diào)節(jié)加速電壓來優(yōu)化測量范圍。

　　3、驅(qū)動(dòng)、通訊

　　采用高精度伺服電機(jī)，定位精度高，重復(fù)性好，速度閉環(huán)控制功能；

　　采用無延時(shí)實(shí)時(shí)網(wǎng)絡(luò)通訊，信號采樣周期10ms，幾臺(tái)測厚儀做同點(diǎn)測量時(shí)，確保幾臺(tái)測厚儀的掃面路徑一致

　　4、掃描架

　　O型掃描架，采用鋼板一體折彎而成，不易變形，全封閉式設(shè)計(jì)。

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