1.輸出阻抗高，負(fù)載能力差
電容式傳感器由于受電極幾何結(jié)構(gòu)的限制（對(duì)于幾十到幾百個(gè)皮膚法，使傳感器的輸出阻抗很高），通常不太大。因此，電容式傳感器負(fù)載能力差，易受外界干擾，導(dǎo)致不穩(wěn)定。嚴(yán)重時(shí)甚至不能工作，須采取屏蔽措施。還要求傳感器絕緣部分的電阻值非常高（超過(guò)幾十兆歐），否則絕緣部分將起到旁路電阻和傳感器性能（如靈敏度降低）的作用。為此，應(yīng)特別注意周圍環(huán)境（如溫度、濕度、清潔度等）對(duì)絕緣性能的影響。高頻電源雖然可以降低傳感器的輸出阻抗，但放大和傳輸盒比低頻電源復(fù)雜得多，寄生電容大，很難保證工作的穩(wěn)定性。
2.寄生電容影響大
初始電容傳感器要小，而電線電纜電容、雜散電容測(cè)量電路和電容傳感器板及其周圍導(dǎo)體的寄生電容較大，這不僅降低了傳感器的靈敏度，而且電容（如電纜電容）往往是隨機(jī)變化的，會(huì)使傳感器工作不太穩(wěn)定，影響測(cè)量精度，甚至超過(guò)由測(cè)量電容變化引起的變化，使傳感器無(wú)法工作。因此，對(duì)電纜的選擇、安裝和連接都有嚴(yán)格的要求。
3.輸出特性是非線性的
變極距電容傳感器的輸出特性是非線性的。其他電容傳感器的輸出特性只有在忽略電場(chǎng)邊緣效應(yīng)的情況下才是線性的。否則，邊緣效應(yīng)產(chǎn)生的附加電容地址將直接加到傳感器電容地址中，使輸出特性非線性。