半導(dǎo)體專用流量計Sonotec 外夾式超聲波流量計co.65使用說明

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資料簡介

SEMIFLOW CO.65 把完整電子單元集成進了傳感器本體，體積只有幾十毫米見方（最小型號僅 44×44×34 mm），無需外接變送板卡，即插即用。

核心性能：

項目	參數(shù)
測量原理	超聲波時差法，雙測量段，干式耦合（內(nèi)置柔性襯墊）
測量周期	10 ms，毫秒級響應(yīng)，支持精密定量與閉環(huán)控制
準(zhǔn)確度	±2%（按測量讀數(shù)計，低溫區(qū)另有高精度檔）
流量量程	最高約 400 L/min（隨管徑規(guī)格而定）
適配管徑	8 種傳感器尺寸，覆蓋約 1/4" 至 2"（6–63 mm 外徑）塑料管
接口	0/4–20 mA、0–20 kHz 頻率、PNP/NPN/推挽開關(guān)量、數(shù)字輸入、RS-485（可選 Modbus）
介質(zhì)溫度	0…90 ℃（環(huán)境 0…25 ℃ 時）/ 0…60 ℃（環(huán)境 0…60 ℃ 時）
防護等級	IP65
供電	12–30 VDC
維護	免維護

開關(guān)量輸出還可直接用于體積投加（定量 dosing），配合數(shù)字輸入實現(xiàn)批處理；RS-485 總線最多可掛 12 臺傳感器，輕松接入既有 PLC 與上位系統(tǒng)。

直面半導(dǎo)體五大典型應(yīng)用

1. 晶圓清洗設(shè)備（單片清洗）：外夾式不接觸清洗液，測量各類藥液流量，杜絕金屬離子析出；

2. 光刻設(shè)備：對光刻膠、溶劑進行非接觸高精度計量，保證涂布均勻性；

3. 混配設(shè)備：毫秒級響應(yīng) + 定量輸出，精準(zhǔn)控制多組分藥液配比；

4. 化學(xué)品供液系統(tǒng)（CDS）：耐腐蝕、零泄漏，適配 PFA 管路，長期免維護；

5. CMP 漿料輸送管路：漿料磨蝕性再強也不接觸傳感器本身，不磨損、不堵塞。

需要防爆？SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 + Barrier Box ST Ex1

針對可能含易燃溶劑、氣體氣氛的危險區(qū)域，SONOTEC 提供本質(zhì)安全型 SEMIFLOW CO.66 PI Ex1，配合Barrier Box ST Ex1 安全柵箱使用

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