一、核心濕部材質(zhì)（接觸氣體部分）

1. 本體基體：316L 不銹鋼，強(qiáng)腐蝕可選哈氏合金 C?276

2. 密封圈 O 圈：標(biāo)配FFKM（Kalrez 全氟醚橡膠），強(qiáng)腐蝕；可選 Viton、EPDM、PTFE 墊片；PCX 版本采用金屬無 O 圈密封，適合半導(dǎo)體高純強(qiáng)腐蝕，漏率＜1×10?1? atm?cc/s He。

3. 傳感器流道全部做耐腐蝕鈍化處理，適配干燥腐蝕性氣體；含水濕腐蝕氣體務(wù)必提前告知選型。

適配典型腐蝕氣體：NH?氨氣、H?S 硫化氫、Cl?氯氣、SO?二氧化硫、SiH?硅烷、HCl 氯化氫、NO?氮氧化物；強(qiáng)氟化介質(zhì)優(yōu)先選 PCX 金屬密封版本。

二、MCS?耐腐蝕質(zhì)量流量控制器（流量控制）

性能參數(shù)

• 量程：0.5?SCCM～10000?SLPM

• 精度：±(0.8% 讀數(shù) +0.2% FS)；高精度選型 ±(0.4% 讀數(shù) + 0.1% FS)

• 重復(fù)性：±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% FS)

• 量程比（調(diào)節(jié)比）：10000:1，0.01?100% FS 可控，極小流量也可控

• 響應(yīng)時(shí)間：10?100?ms，PID 可調(diào)

• 原理：層流壓差，內(nèi)置絕壓 + 溫度傳感器自動(dòng)補(bǔ)償，不受入口壓力波動(dòng)影響

• 內(nèi)置 Gas?Select 數(shù)據(jù)庫，內(nèi)置 130 + 氣體，支持自定義混合氣體 COMPOSER 編輯器

通訊接口

三、PCS / PCX 耐腐蝕壓力控制器（含雙閥，密閉腔體腐蝕工況）

• PCS：腐蝕型壓力控制器，支持單閥 / 雙閥（PCS?D），就是 PCD 雙閥的耐腐蝕版本，進(jìn)氣 + 排氣雙閥，密閉腔體雙向升壓降壓；濕部 316L+FFKM 密封。

• PCX：半導(dǎo)體超高純強(qiáng)腐蝕，金屬密封無橡膠 O 圈，SEMI?F36，極低泄漏，適合 MOCVD、刻蝕工藝；可做雙閥 PCXD。

• 量程：500Torr?1500PSI；精度最高 ±0.125% FS；量程比 10000:1，響應(yīng)快至 30ms

四、IS?Pro 本安防爆耐腐蝕系列（危險(xiǎn)工況）

五、各型號(hào)選型對(duì)照表

六、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體：MOCVD、刻蝕、薄膜沉積，腐蝕性前驅(qū)體載氣；

2. 化工科研：配氣系統(tǒng)、催化實(shí)驗(yàn)，Cl?、HCl、NH?、SO?配比；

3. 電池研發(fā)：硫化物、腐蝕性氣氛測(cè)試；

4. 環(huán)境儀器：煙氣 NO?、H?S 氣體發(fā)生；

5. 石化防爆工況：選 IS?Pro 本安系列。

七、選型關(guān)鍵注意事項(xiàng)

1. 氣體必須干燥：含水水汽會(huì)加速腐蝕，濕腐蝕氣體需要特殊版本；

2. 明確介質(zhì)：氯氣、氟化類氣體，普通 FFKM 不夠，優(yōu)先 PCX 金屬密封；氨氣不可以用普通 FKM；

3. 需求區(qū)分：要控制流量選 MCS；密閉腔體雙向壓力控制選 PCS?D（雙閥耐腐蝕）；半導(dǎo)體超高純選 PCXD；防爆選 IS?Pro；

4. 供氣壓力：MFC 入口壓力建議高于出口至少 10?15psi；

5. 全部支持 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。

八、Alicat 耐腐蝕 MFC 對(duì)比傳統(tǒng)熱式 MFC 優(yōu)勢(shì)

1. 層流壓差原理，同時(shí)測(cè)流量、壓力、溫度，壓力波動(dòng)不影響控制；熱式 MFC 容易受壓力擾動(dòng)；

2. 超大量程比 10000:1，低至 0.01% 滿量程可控；

3. 支持自定義混合氣體，不用重新標(biāo)定；

4. 同平臺(tái)可以直接選雙閥壓力控制器，一套生態(tài)，通訊協(xié)議統(tǒng)一。