芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P77系列壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程,無(wú)摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率,閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí),是光學(xué)移相器的選擇。
P73.Z500系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)550μm,采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu),無(wú)摩擦、運(yùn)動(dòng)直 線(xiàn)性好且閉環(huán)型號(hào)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì),可適配多種型號(hào)的顯微鏡,廣泛應(yīng)用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。
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