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P51系列 芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)P51系列
  • 品牌芯明天
  • 所在地哈爾濱市
  • 更新時(shí)間2026-07-20
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限9
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量392
  • 人氣值787923
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哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運(yùn)動(dòng)器(壓電陶瓷)和微運(yùn)動(dòng)控制器(壓電陶瓷控制器)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的高科技企業(yè),我們的微運(yùn)動(dòng)器和微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品是推動(dòng)微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學(xué)等微觀領(lǐng)域發(fā)展的核心技術(shù),是了解和操縱微觀世界的機(jī)器心臟。

哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過(guò)多年的項(xiàng)目研究與技術(shù)積累,擁有了自己的核心技術(shù),開(kāi)發(fā)出了系列化的微運(yùn)動(dòng)器與微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品,廣泛地應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學(xué)儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機(jī)床的公司;公司與哈爾濱工業(yè)大學(xué)的多個(gè)研究所有著多年的密切合作關(guān)系,按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結(jié)合的道路持續(xù)發(fā)展;公司擁有雄厚的技術(shù)儲(chǔ)備和研發(fā)制造能力,并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊(duì)伍。

微運(yùn)動(dòng)器(壓電陶瓷)產(chǎn)品是微小運(yùn)動(dòng)或微小變化的執(zhí)行器,典型特點(diǎn)是體積小、重量輕、輸出力大、功耗低、運(yùn)動(dòng)速度快、運(yùn)動(dòng)精度高、運(yùn)動(dòng)分辨率高。

微運(yùn)動(dòng)控制器(壓電陶瓷控制器)產(chǎn)品是控制微運(yùn)動(dòng)器如何產(chǎn)生和產(chǎn)生多大的微小運(yùn)動(dòng)或變化的控制器,與微運(yùn)動(dòng)器配套使用;具有液晶顯示、智能控制算法、驅(qū)動(dòng)功率大、嵌入式計(jì)算機(jī)控制等特點(diǎn)。



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芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái) 三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái) 產(chǎn)品詳情

芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)特性:

 • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng)及Z向110μm直線運(yùn)動(dòng)                 • 閉環(huán)定位精度高                    

 • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 響應(yīng)速度快

 

芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)外觀形狀

外觀形狀  

   產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖  

  閉環(huán)曲線  

 

  閉環(huán)傳感精度高  

   頻率負(fù)載曲線  

   仿真分析  

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái),偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)110μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有良好的運(yùn)動(dòng)控制精度,直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。

通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng),因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。

 

  超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片  

  產(chǎn)品測(cè)試  

 

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專門(mén)為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的,臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯微鏡中。

校準(zhǔn)調(diào)測(cè)

震動(dòng)實(shí)驗(yàn)

 

3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)

驅(qū)動(dòng)方式  

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運(yùn)動(dòng),再通過(guò)控制電壓的大小,對(duì)于固定的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應(yīng)用  

       • 光束掃描  • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲   • 干涉/計(jì)量  • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)  • 光路調(diào)整  • 掩模與晶片位置調(diào)整  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

關(guān)鍵詞:顯微鏡
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