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S54壓電偏擺/旋轉臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌芯明天
  • 所在地哈爾濱市
  • 更新時間2026-07-21
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限9
  • 實名認證已認證
  • 產品數量392
  • 人氣值787270
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哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運動器(壓電陶瓷)和微運動控制器(壓電陶瓷控制器)產品的開發(fā)、生產、銷售及服務的高科技企業(yè),我們的微運動器和微運動控制器產品是推動微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學等微觀領域發(fā)展的核心技術,是了解和操縱微觀世界的機器心臟。

哈爾濱芯明天科技有限公司經過多年的項目研究與技術積累,擁有了自己的核心技術,開發(fā)出了系列化的微運動器與微運動控制器產品,廣泛地應用于國內各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機床的公司;公司與哈爾濱工業(yè)大學的多個研究所有著多年的密切合作關系,按照科研與產業(yè)化相結合的道路持續(xù)發(fā)展;公司擁有雄厚的技術儲備和研發(fā)制造能力,并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊伍。

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產地國產 加工定制
S54壓電偏擺/旋轉臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。
S54壓電偏擺/旋轉臺 產品詳情

S54壓電偏擺/旋轉臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。

特性:

•  θx, θy偏擺運動 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 80×80mm大通孔 分辨率高 外形超薄

典型應用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)


• 微操作 • 掩模與晶片位置調整

應用實例
   S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光等領域。

閉環(huán)傳感精度高

S54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限 元分析優(yōu)化,使角度偏移達到小,無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅動實現大偏轉范圍±1.1mrad,分 辨率高達0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實現0.1%F.S. 的重復定位精度。

臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、 計量、定位等應用的選擇。

負載大鏡片
S54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透 射光的應用,負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

S54壓電偏擺/旋轉臺技術參數:


型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

S54.T2S 

S54.T2K


單位

運動自由度

θx, θy


標稱偏擺角度 (0~+120V)

±0.8/

mrad±20%

大偏擺角度 (-20~+150V)

±1.1/

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-


閉/開環(huán)偏擺分辨率

0.25/0.05

μrad

閉環(huán)線性度

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.1/-

%F.S.

推/拉力

40/8

N

運動方向剛度

0.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

300

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

20/3.5

ms±20%


閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

大承載

1

kg

靜電容量

3.6/

μF±20%

材質

鋁、鋼


重量

510

g±5%

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。


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