基本參數(shù)

測量范圍

X軸：0-200mm可選

Z軸：0-620mm可選

Z1軸：6mm,2mm

輪廓傳感器線性精度：≤±0.07%f.s.(95mm測桿)

粗糙度傳感器線性精度：≤±(12nm + 3%)

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一次測量，實(shí)現(xiàn)高精度輪廓分析及粗糙度分析
技術(shù)特點(diǎn)

·一次測量，實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析

·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量

·X向采用新型數(shù)字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器

多段式高精度傳感器具有大量程，大限度保持了傳感器的原有精度。

采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。

采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時(shí)；足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供有力的保障。

主要技術(shù)參數(shù)

驅(qū)動(dòng)器 行程 采數(shù)間隔 輪廓直線度 粗糙度殘值

標(biāo)準(zhǔn)測桿量程 分辨率

Z1軸傳感器 輪廓線性精度 粗糙度線性精度 粗糙度重復(fù)性

z軸立柱 行程

平臺(tái)（含防振臺(tái)架） 尺寸

規(guī)格

100~220mm

0.05~2 卩 m

W0.3~0.5|_im/100mm

<0.005-0.025pim

±2mm; ±100卩m;

0.015卩m(±2mm)； 0.8nm(±100|im)

W ±0.07% F.s.

W±(12nm + 3%)

18W3nm

320~620mm

500mm* 800mm； 500mm*1000mm；

測量功能

輪廓測量：各種類型工件表面的線要素，點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。

輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

粗糙度測量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr