滿足薄膜厚度范圍從15nm到3mm的*厚度測試系統(tǒng)F3-sX薄膜厚度測量儀

F3-sX家族利用光譜反射原理，可以測試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測大厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測試光斑直徑因而可以快速容易的測量其他膜厚測試儀器不能測量的材料膜層。而且僅在幾分之一秒內(nèi)完成。

波長選配F3-sX薄膜厚度測量儀

F3-sX采用的是近紅外光（NIR）來測量膜層厚度，因此可以測試一些肉眼看是不透明的膜層（ 比如半導(dǎo)體膜層） 。980nm波長型號，F(xiàn)3-s980，專門針對低成本預(yù)算應(yīng)用。F3-s1310針對于高參雜硅應(yīng)用。F3-s1550則針對較厚膜層設(shè)計(jì)。

配件

配件包括自動(dòng)繪圖平臺(tái)、測量點(diǎn)可視化的攝像機(jī), 和可見光波段選項(xiàng)，使測量厚度能力小達(dá)到15納米。此外數(shù)據(jù)采集速率達(dá)到1kHz，讓F3-sX系列成為許多在線應(yīng)用的*選擇（比如“roll-to-roll”工藝）。

翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測量設(shè)備。提供全面的一對一*，技術(shù)支持，備件管理和咨詢服務(wù)。 

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旗下有測厚儀，臺(tái)階儀，納米壓痕儀，橢偏儀等等多種儀器。