Alpha-Step D-600 臺階儀Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和*的光學(xué)系統(tǒng)以及加強視頻控制。
產(chǎn)品描述Alpha-Step D-600 臺階儀
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1200μm
· 低觸力:0.03至15mg
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件:用戶友好的軟件界面






























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