OEM應(yīng)用中的基礎(chǔ)流量控制

對(duì)于大數(shù)額訂單，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計(jì)的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。

• 可靠。絕不會(huì)讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像天一樣。
• 靈敏。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽?。具有業(yè)內(nèi)的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
• 兼容。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項(xiàng)目設(shè)計(jì)提供更大的靈活性。

更多產(chǎn)品信息請(qǐng)查看質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號(hào)
• Applications

性能

• 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• 校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.5%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
• 預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度

工作條件

• 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
• 工作溫度：0°C至+50°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

包裝清單

• BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 通訊線纜
• Flow Vision軟件