熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號:BDD-S030C庫號：M413346   查看hh

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

型號：BDD-S030C

流量：50SCCM

精度：1% F.S

本體數(shù)顯的流量控制器，操作簡單，示數(shù)直觀，無需連接分體數(shù)顯表，無需PLC編程，數(shù)字模擬量通訊均可！一鍵操作

氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。

質(zhì)量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）、SLM（標準升每分鐘）

標準狀況：溫度--293.15K(20℃)

壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿量程

型號：BDD-S030C

流量規(guī)格（氮氣）：0-10sccm/10sccm-50slm

控制量程：2%-100 %

精度：≤±1.0%F.S

線性：≤±0.5%F.S

重復(fù)性：≤±0.2%F.S

閥門類型：常閉閥

響應(yīng)時間：1-3sec

耐壓：≤0-50Bar

通信信號：0-5V/4-20mA/Rs485

供電方式：14VDC--27VDC (300mA)

泄*漏率：1×10-9atm. cc/sec He

應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜設(shè)備、石油化工、航空、航天、醫(yī)藥、制造業(yè)、火電、核電、天*然*氣、加氣站、液晶面板制造半導體工藝設(shè)備、化學與化工實驗設(shè)備、食品科學與工程設(shè)備、能*源與環(huán)境設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研實驗室設(shè)備等行業(yè)的公司等