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脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀

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         位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,, 是日本伯東株式會社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊資金為200萬美元,到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
         伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計(jì), 真空規(guī)管);檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識,并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。

          另外公司還是美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 德國 普發(fā) Pfeiffer  真空設(shè)備, 美國  KRI 考夫曼離子源, 日本  NS 離子蝕刻機(jī), 美國  HVA 真空閥門, 美國  Gel-pak 芯片包裝盒,比利時(shí)Europlasma 等離子表面處理機(jī) , 日本  Atonarp過程質(zhì)譜儀  和  美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備 等進(jìn)口品牌的指定代理商 .我們真誠期待與您的合作!



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產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制
PLD 系統(tǒng)需要高真空環(huán)境, 腔室是否有泄露, 是否有內(nèi)部材料放氣等因素對實(shí)現(xiàn)高真空及超高真空很關(guān)鍵. 因此需要對整個系統(tǒng)進(jìn)行泄漏檢測. 氦質(zhì)譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 因此廣泛應(yīng)用于 PLD 設(shè)備檢漏.上海伯東某客戶 PLD 設(shè)備用來制備各種材料, 為了保證產(chǎn)品質(zhì)量, 采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀
脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀 產(chǎn)品詳情

價(jià)格電議
氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏

脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD
脈沖激光沉積系統(tǒng) Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積設(shè)備, 通常需要保證本底真空度達(dá)到 10-8mbar, 同時(shí)高真空環(huán)境對系統(tǒng)配置的 RHEED 及溫控系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備的壽命也至關(guān)重要.

脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 需要檢漏原因
PLD 系統(tǒng)需要高真空環(huán)境, 腔室是否有泄露, 是否有內(nèi)部材料放氣等因素對實(shí)現(xiàn)高真空及超高真空很關(guān)鍵. 因此需要對整個系統(tǒng)進(jìn)行泄漏檢測. 氦質(zhì)譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 因此廣泛應(yīng)用于 PLD 設(shè)備檢漏.

脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設(shè)備用來制備各種材料, 為了保證產(chǎn)品質(zhì)量, 采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

生長多層膜(TiN/ALN)結(jié)構(gòu), 各層膜厚度可調(diào)

高通量制備具有不同材料成分的100種材料

PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏


脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設(shè)定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現(xiàn)聲光報(bào)警同時(shí)在屏幕上顯示當(dāng)前漏率值.
氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏
上海伯東* Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

型號

ASM 340 WET

ASM 340 D

ASM 340 I

對氦氣的小檢測漏率, 真空模式

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸模式

真空模式和吸模式

真空模式和吸模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進(jìn)氣口大壓力 hPa

25

25

5

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32

脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀
脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀
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