GE新推出的X射線檢測系統(tǒng)phoenix x|aminer是為半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子領(lǐng)域的高分辨率檢測要求而專門設(shè)計的一款X射線檢測系統(tǒng)。系統(tǒng)采用開放式160kV/20W微焦點X射線管。采用高功率射線管，可以穿透高吸收性工件。該系統(tǒng)使用*的phoenix x|act base軟件解決方案?；谄淠K化設(shè)計，軟件具有*的使用靈活性，可用于手動和自動檢測。

技術(shù)規(guī)格和配置

幾何放大倍率 2100x

總放大倍率 >23000x

細節(jié)分辨率 小于1微米

類型 

     開放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準直功能

大管電壓 

     160KV

大管功率 

     20W

靶

     無毒載體鎢靶，并可旋轉(zhuǎn)以多次使用

燈絲 

     鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡單快捷，20分鐘內(nèi)完成

真空系統(tǒng) 

     無油式低真空泵＋渦輪分子真空泵

數(shù)字成像鏈

     高分辨率4” 雙視野圖像增強器2M像素高分辨率數(shù)字相機

總體結(jié)構(gòu) 

     高精度抗震動、5軸同步驅(qū)動

大檢測范圍 

     410mm×410mm

大工件尺寸/重量 

     410mm×410mm/5kg

ovhm-斜角視圖旋轉(zhuǎn) 

     可調(diào)視角70°，n×360° 

操控 

     操縱桿控制或鼠標(手動模式)和數(shù)控編程控制(自動模式)

軸速(X-Y-Z) 

     10μm/s到80mm/s

操控輔助功能 

     X射線影像導(dǎo)航圖，點擊移動功能，點擊放大功能，自動保持視野中心功能，激光定位瞄準

防碰撞系統(tǒng) 

     防止檢測樣品與射線管產(chǎn)生碰撞

phoenix x|act base 

     全面的X射線圖像分析軟件，包含圖像對比增強和濾波功能、測量功能、數(shù)控編程功能

bga|module BGA

     焊點自動檢測功能

vc|module 

     空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能

尺寸(W x H x D) 

1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制臺）

高度可調(diào)控制面板 

400mm

大重量 

2050kg

全位防護 

     鉛鋼防護結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的安全屏蔽室

輻射泄漏劑量率

     <1μSv/h，符合*標準

傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置 

     傾斜±45°和旋轉(zhuǎn)n×360°，大工件重量為2kg

輔助定位裝置 

     十字線激光

旋轉(zhuǎn)臺用PCB板支架裝置 

     大載板尺寸310mm×310mm (12"×12")

XY-平臺 

     增大檢測區(qū)域為510mm×510mm (20"×20") (不使用旋轉(zhuǎn)臺)