MT-30ASERIES  

→低價(jià)格，高性能

→MT-30A模擬式系列

→熱式之質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器

概要：

MT-30A系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器，

分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部

件組成。

本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)

管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)爾制成

采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流

量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流

量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓值進(jìn)行比較，

用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制

流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

●標(biāo)準(zhǔn)

本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條      產(chǎn)品尺寸127×28×100mm

件和命名方法。

質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。      型號(hào)選型

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)

 SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K( 0℃ )

氣壓--101325pa(760mm Hg)  F.S(Full Scale):滿量程值

特點(diǎn)：

MT-30A系列可應(yīng)用在5SCCM-30SLM的氣體流量范圍

并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響，應(yīng)用范圍廣

●模擬式質(zhì)量流量計(jì)/控制器

·低單價(jià) ·環(huán)境溫度補(bǔ)正 ·可應(yīng)用流量范圍廣   

·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM

●高精度

·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）

●小體積

●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配

套使用。

●輸入，輸出，供電

·輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V

·輸出電壓檢測…………0～+5.00V

●基本參數(shù)