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Futurrex光刻膠,非光刻涂層-色譜柱

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-09-03
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量403
  • 人氣值5325
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Futurrex光刻膠,非光刻涂層-色譜柱 產(chǎn)品詳情

光刻膠

產(chǎn)品型號:非光刻涂層

產(chǎn)品介紹:

非光刻涂層分為特別涂層PC3、旋涂玻璃SOG、旋涂摻雜涂層這三種。

A、特別涂層PC3

特別涂層PC3的應(yīng)用是:平坦化層 – 轉(zhuǎn)移平坦層到下面的介電質(zhì)的刻蝕后加工過程;機械保護層 – 劃片和切割操作中;臨時粘合層。性質(zhì)是優(yōu)異的平坦化性能,厚度范圍是在0.5 ~ 20.0 μm,對生產(chǎn)的作用是在一些應(yīng)用中省去化學(xué)機械拋光平坦化處理、刻蝕后加工處理時抑制微負載的影響、劃片時消除膜剝落和破裂的情況、在背部減薄和晶片分離后很容易在光膠去除劑RD3或RD6中去除。

B、旋涂玻璃:SOG

旋涂玻璃SOG的應(yīng)用是在多層金屬加工中作為介電質(zhì)一部分的平滑層和保護層,在三層光膠加工中的中間層。性質(zhì)是固化之后設(shè)備可應(yīng)用的膜硬度、厚度范圍是在0.15 ~ 0.55 μm、對生產(chǎn)的作用是在一些應(yīng)用中省去化學(xué)氣相沉積(CVD)二氧化硅、在多層金屬加工處理中省去費時的填充狹窄溝槽的SiO2沉積和凹蝕、在為薄膜磁性頭制作的基板制備中省去拋光。

旋涂玻璃

ICI-200

0.17μm ~ 0.20μm

DC4-500

0.45μm ~ 0.55μm

C、旋涂摻雜涂層

旋涂摻雜涂層應(yīng)用是在旋涂硼、旋涂磷、旋涂鋅;其性質(zhì)是透明薄膜通過O2 Plasma轉(zhuǎn)化為固態(tài)摻雜。其對生產(chǎn)作用是省去摻雜的旋涂玻璃、在一些應(yīng)用中省去離子植入、省去ampoule中鋅摻雜。

旋涂摻雜涂層

涂層

類型

BDC1-2000

硼摻雜涂層

PDC1-2000

磷摻雜涂層

ZPDC2-2000

鋅摻雜涂層

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