HiPace 10 - 800 

抽速等級(jí)在10-800 L/s 的 緊湊型

球軸承或復(fù)合軸承渦輪分子泵

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) 

1. 抽速?gòu)?0-800升/秒的全系列產(chǎn)品

2. 穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)（Robust Design）和經(jīng)過(guò)實(shí)踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)

3. 經(jīng)湊型結(jié)構(gòu)以滿足更小的物理空間安裝需求

4. 高氣流量和高抽速

5. 可任意角度安裝

6. 防護(hù)等級(jí)IP54符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求

7. 可以用于腐蝕性氣體工況

8. SEMI S2和UL認(rèn)證

9. 可現(xiàn)場(chǎng)更換軸承

HiPace 1200-2300

抽速等級(jí)在1000 - 2000 L/S 的緊湊型

復(fù)合軸承渦輪分子泵

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1. 四種抽速，抽速為自1000 至 2300 l/s

2. 對(duì)于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速

3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 耐粉塵

4. 高氣流量，即使對(duì)于分子量較大的氣體

5. 集成的TC 1200驅(qū)動(dòng)單元，可直接連接一般電源

6. 耐腐蝕

7. 帶節(jié)氣閥門的集成密封氣體系統(tǒng)

8. 標(biāo)準(zhǔn)接口界面：RS-485 以及遠(yuǎn)程控制；Profibus或者DeviceNet 可供選擇

9. 符合 IP54 防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，適用于工業(yè)應(yīng)用環(huán)境

10. 符合 Semi S2 規(guī)范

11. 符合 UL, CSA 以及 TüV 認(rèn)證

HiPace 300 - 800M,ATH 500 M 

抽速等級(jí)在300 - 800 L/S 的緊湊型

磁懸浮渦輪分子泵

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1. 安裝簡(jiǎn)便

2. 任意角度安裝

3. 集成控制器

4. 無(wú)潤(rùn)滑油的磁軸承技術(shù)

5. 對(duì)所有過(guò)程氣體都能實(shí)現(xiàn)高氣流量

6. 地震動(dòng)及低磁場(chǎng)干擾

7. 動(dòng)平衡自動(dòng)補(bǔ)償

8. 轉(zhuǎn)速范圍大

9. 出色的穩(wěn)定性和可靠性

ATM 1600 - 3200 M, ATP 2300 M

抽速等級(jí)在1400 - 2800 L/S 的緊湊型

磁懸浮渦輪分子泵

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1. 無(wú)潤(rùn)滑油的磁軸承技術(shù)

2. 對(duì)所有過(guò)程氣體都能實(shí)現(xiàn)高氣流量

3. 出色的穩(wěn)定性和可靠性

4. 更好的前級(jí)泵兼容性

5. 氣體進(jìn)入穩(wěn)定性高

6. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)

7. 轉(zhuǎn)速可選范圍大，適合定制化工藝需求

8. 極低的噪音和震動(dòng)

9. 任意角度安裝

10. 磁軸承技術(shù)現(xiàn)實(shí)轉(zhuǎn)子實(shí)時(shí)監(jiān)控