型號

VR-3200

類型

量測頭

適用控制器

VR-3000K

觀察量測範圍

大視野模式

15 型螢幕上顯示倍率 12x

水平(H)

24mm

垂直(V)

18mm

15 型螢幕上顯示倍率 25x

水平(H)

12mm

垂直(V)

9mm

15 型螢幕上顯示倍率 38x

水平(H)

8mm

垂直(V)

6mm

15 型螢幕上顯示倍率 50x

水平(H)

垂直(V)

4.5mm

高倍率模式

15 型螢幕上顯示倍率 40x

水平(H)

7.6mm

垂直(V)

5.7mm

15 型螢幕上顯示倍率 80x

水平(H)

3.8mm

垂直(V)

2.9mm

15 型螢幕上顯示倍率 120x

水平(H)

2.5mm

垂直(V)

1.9mm

15 型螢幕上顯示倍率 160x

水平(H)

垂直(V)

1.4mm

鏡頭

1 至 4 倍

可量測高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1

顯示解析度

0.1 µm*2

重覆精度 (σ)

高度量測

0.5 µm*3

寬度量測

大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3

量測精度

高度量測

±3 •µm*3

寬度量測

大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3

影像連接功能

全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4
自動調整、自動範本分析*4

載物臺

XY 載物臺移動量

184 × 88 mm(電動)

Z 載物臺移動量

90 mm(電動)

旋轉角

±180°（試料旋轉載物臺）

傾斜角

±30° 以上

動作距離

75 mm

影像擷取元件

1 型400 萬畫素黑白CMOS

投光鏡頭

雙重遠心鏡頭 ×2

受光鏡頭

雙重遠心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍)

量測用光源

白光 LED

影像尺寸

1024×768 畫素、2048×1536 畫素

資料處理部份

KEYENCE 專用PC(OS 為 Windows7)*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

耗電量

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對濕度

35 至 80 % RH (無凝結)

重量

28.0 kg

*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍 
*2 量測高度時的解析度
*3 使用 KEYENCE 規(guī)定的基準規(guī)，以 KEYENCE 規(guī)定的量測模式進行量測時的數(shù)值(環(huán)境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 Windows7 Professional 以及 Ultimate