項目 說明 設(shè)備名稱 高精度清洗機(jī)(適用普通LCD與AMOLED工藝產(chǎn)品) 基板尺寸 G2.5~G8.5 適用工藝 適用整個LCD制程工藝中清洗需求 控制方式 CIM系統(tǒng)+PLC系統(tǒng) 傳輸方式 Roller To Roller 設(shè)備類型 Custom Made 工藝流程 可根據(jù)不同工藝制程集成EUV/PLASMA,Brush,CJ/BJ,HP,HPMJ,MS,Ozone,IR等功能。 潔凈等級 CLASS100 Tact Time 視工藝而定 工藝效果 1)高達(dá)98%以上的洗凈率(1~10μm); 2)無Mura,無水痕,無Roller Mark。 設(shè)備特點 1)具備FIX TYPE,Scaning Type模式碎片感應(yīng);2)CIM通訊功能與*的數(shù)據(jù)記錄功能;3)水平衡系統(tǒng),節(jié)約用水; 4)干濕分離,傳動分離,優(yōu)于Class100的內(nèi)部工作環(huán)境;5)高精密系統(tǒng),流量分布均勻性全局控制在2%以內(nèi); 6)高精密液刀、高精密風(fēng)刀;7)具備槽體清洗功能,清洗液獨立管路排放,減少廠務(wù)負(fù)擔(dān);8)加熱器多重保護(hù),泵浦多重保護(hù)功能; 9)*的安全措施:軟件+硬件多重保護(hù);10)液刀、風(fēng)刀智能開啟與關(guān)閉功能,節(jié)約能耗。
真萍科技作為專業(yè)的烘箱設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶特殊需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶
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