LASAIR II 110 粒子計數(shù)器

Lasair® II-110是款1.0 CFM流量的激光二極管粒子計數(shù)器，能夠監(jiān)測0.1µm粒子。這款計數(shù)器的功能非常全面，監(jiān)測精準度*，性能穩(wěn)定，使用成本低，使用壽命長，并帶有3年的激光部件保修。

好處

降低缺陷率

實時監(jiān)測導致制程缺陷的粒子變化

使用移動式計數(shù)器定位粒子污染源

排除多管采樣的常見漏計錯誤

附件配備齊全，適用于多種應用

0.1µm粒子監(jiān)測效率高于傳統(tǒng)設備

提高生產(chǎn)效率

存儲/導出采樣方案，節(jié)省潔凈室認證時間

通過辦公室電腦和網(wǎng)絡瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測：設置、采樣、顯示、打印、下載數(shù)據(jù)、上傳采樣方案等

噪音極小，有利于改善工作環(huán)境

可選擇9種語言顯示和打印

符合ISO、FS或英國標準的計算統(tǒng)計和報告

同Facility Net軟件整合，用于全面數(shù)據(jù)管理

高速下載數(shù)據(jù)至Excel、PDA或USB存儲器

成本低

使用同一臺粒子計數(shù)器進行ISO Class 1 - 9應用

無需頻繁清洗激光部件

泵的使用壽命長，無需每年更換葉片

容易清洗擦拭，設計有利于將粒子截留減至最少

符合ESA/ESD標準的KYDEX®機殼，非常結(jié)實，抗化學腐蝕。

低溫激光二級管使用壽命更長；激光部件保修3年

應用

潔凈室監(jiān)測

高靈敏度應用

滿足ISO、FS或英國標準的設施認證

微環(huán)境認證

故障診斷/移動式應用

多管采樣（使用AM II型多點采樣設備）

監(jiān)測高壓氣體（使用高壓擴散器）

超潔凈區(qū)監(jiān)測（ISO 1-2）

選擇氣體懸浮物粒子監(jiān)測儀 (360.5 KB)

粒子監(jiān)測基本指導 (8.4 MB)

獲得2005年度 Semiconductor International Editor's Choice Award 獎項。

本款粒子計數(shù)器經(jīng)CE認證