高性?xún)r(jià)比金屬密封產(chǎn)品,高精度,多氣體多量程,自動(dòng)調(diào)零,量程2sccm-30slm,全金屬密封,通訊方式:模擬0-5V、模擬0-10V、數(shù)字485、DeviceNet
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品型號(hào) CS200-D 量程(N2) ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM 精度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) 重復(fù)精度 ±0.2% FS 線性 ±0.5% FS 響應(yīng)時(shí)間 ≤0.8 sec (SEMI E17-0600) 閥類(lèi)型 Normally Closed or Normally Open 溫度系數(shù) Zero: ≤±0.02% F.S./℃;Span: ≤±0.05% F.S./℃ 零點(diǎn)漂移指標(biāo) <0.6%F.S. per year without autozero 表面粗糙度 25µinch 工作環(huán)境溫度 (0~50)℃ 數(shù)字信號(hào)接口 ital: RS485
DeviceNetTM 模擬流量輸出信號(hào) 0-5V和4-20mA 模擬流量控制信號(hào) 0-5V和4-20mA 電源要求 ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) 電連接器 D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale 工作壓差范圍 (0.05~0.35) Mpa(≤10slm)
(0.1~0.35) Mpa(>10slm) 耐壓 3MPa 漏率 1×10-10 atm·cc / sec He(1×10-11 Pa·m3 / sec He) 密封材料 Metal 表面化學(xué)成分 Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 接頭尺寸 VCR1/4” M
SwagelokΦ6,Swagelok1/4”
W-seal,C-seal 重量 1.2kg



































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