特點

• 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%

• 1 秒內(nèi)穩(wěn)定

• 滿量程流速高達 300 slpm

• 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理

• 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

• 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度

• 通過有源溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范

• 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口

• 帶有 VCR 配件的細線體設計

• DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

• 1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響

• 未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件

• MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC

• 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設定操作

• 測量精度不受溫度變化影響

• 可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間

• 規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設備空間內(nèi)；設備改型的選擇

• 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

應用

• 對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級

• 減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存

• 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD

• 太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)

• 分析用 OEM 設備