| 機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承·工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
|---|---|
| 回轉(zhuǎn)精度 | 0.05um (JISB 7451) |
| 測(cè)定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ550mm(※EC5100H的機(jī)種) |
| 積載質(zhì)量 | 200kg (※EC5100H的機(jī)種) |
| 上下移動(dòng)量 | 1000mm(使用b觸針臂時(shí))(※EC5100H的機(jī)種) |
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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