量項(xiàng)目

粗糙度 部分

Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr

輪廓儀 部分

點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等）、點(diǎn)、點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)

粗糙度 測量范圍

X軸

RA：0.005μm—16.00μm

Z1軸

±20μm、±40μm、±80μm

取 樣 長 度 L

0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動

評 定 長 度

1L—5L(可選 L為取樣長度)

測量行程長度

3L—7L(可選 L為取樣長度)

輪廓儀 測量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

150mm

Z1軸（傳感器）

25mm

Z軸（立柱）

500mm

粗糙度 測量精度

示值誤差 1

0.001μm

示值誤差 2

≤±7％

輪廓儀 測量精度

X軸

(L=X軸導(dǎo)軌移動距離)

±(1.5+2L/100)μm

Z1軸

(H=Z1軸方向測量高度)

±(1.8+4H/100)μm

X軸水平臂

直線度

1.5μm/150mm

光柵分辨率

0.2μm

光柵產(chǎn)地

進(jìn)口

Z1軸傳感器

分辨率

0.1μm

傳感器類型

光柵傳感器

產(chǎn)地

進(jìn)口

移動方向

前/后 雙方向

測力

0.5-6g

測針針尖

硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

驅(qū)動行程

驅(qū)動行程長度

17.5mm/0.71 inch

最小驅(qū)動行程長度

1.3mm/0.052 inch

粗糙度 速度

測量速度

0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s

輪廓儀 速度

測量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

定位速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

圖形放大/縮小

圖形放大

可任意縮小、放大

綜合調(diào)整臺

綜合調(diào)整臺

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

安裝要求

電源

220-240V   AC, 50HZ，單獨(dú)地線；功率消耗450W

壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源