

清洗: 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。 如:去除有機(jī)污染物,去除納米級(jí)微粒,去除氧化層
活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。 如:PDMS鍵合,粘接前的預(yù)處理,涂裝前的預(yù)處理,印刷前的預(yù)處理。
蝕刻:工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射,表面材料被剝離,轉(zhuǎn)變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn),也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。
涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應(yīng),形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護(hù)/阻隔層,干潤(rùn)滑層,疏油層。
• 支架(牙醫(yī))
•
• 傳感器
• 精密驅(qū)動(dòng)間
• 車大燈反射鏡
• 攝像頭
• 科研

| 主要技術(shù)參數(shù) | 1.半自動(dòng)控制 2.根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量等參數(shù) 3.雙路工作氣體,氣體流量通過針型閥流量計(jì)控制 4.反應(yīng)艙為高硼硅玻璃腔體,直徑130mm 長(zhǎng)300 mm ,容積約為5L 5.發(fā)生器頻率40KHz功率0~200W 6.反射波自動(dòng)調(diào)節(jié) 7.電極材質(zhì)為鋁 8.運(yùn)行模式為手動(dòng) 9.配套真空泵的排氣能力為4m3/Hour,配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥,國(guó)產(chǎn)飛越真空泵 10*配有壓力傳感器,可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值 11.外尺寸:W560mm*D600mm*H460-860mm 12.電源電壓:?jiǎn)蜗郃C230V 16A |

矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm)
矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 160 mm x 160 mm,長(zhǎng) 325 mm 或長(zhǎng) 600 mm)
圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 130 mm,長(zhǎng) 300 mm 或長(zhǎng) 600 mm)
圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 130 mm,長(zhǎng) 300 mm 或長(zhǎng) 600 mm)




































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