

清洗: 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。如:去除有機污染物,去除納米級微粒,去除氧化層。
活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會在表面形成氧原子團,這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。
如:PDMS鍵合,粘接前的預處理,涂裝前的預處理,印刷前的預處理。
蝕刻:工藝部件表面通過特定氣體達到精確濺射,表面材料被剝離,轉變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。
涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應,前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應,形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護/阻隔層,干潤滑層,疏油層。

| 主要技術參數 | 1. 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統(tǒng) 2. 根據工藝要求不同,可設定功率、壓強、氣體流量與時間等參數 3. 三路工作氣體(可通多種氣體O2、N2,Ar),氣體流量通過數字式流量計(MFC)控制 4. *反應艙為不銹鋼制,L400xD625xH600mm ,容積為150L 5. 反應艙門鋁制,帶有玻璃觀察窗 6. 樣品托盤:十層,W340*D580mm/層 7. 配有Pirani壓力計,實時數字顯示反應艙的壓力值 8. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W (或者0~1000W) 9. 反射波自動調節(jié),無須手工調節(jié) 10. 電極材質為鋁/不銹鋼 11. 真空泵為Leybold D65B LVO 100,排氣速度65m3/hour,配有氧氣強制進氣閥 12. 配有壓力傳感器,可根據工藝要求設定壓力值 13. 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線突出部分) 14. 電源電壓:三項AC400V 32A |





































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