特征：
? 高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。
? X1軸和Z2軸的大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。
? X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現(xiàn)高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
? Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動態(tài)測力變化的同時擴展了測量范圍。
? Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。
? CS-5000CNC帶有a軸，可以通過電動旋轉X1軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。
? 帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
? 可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現(xiàn)雙向通信(RS-232C)。
| 貨號 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 軸 | 測量范圍 | 200mm | ||
| 分辨力 | 0.00625µm | |||
| 長度基準 | 激光全息測微計 | |||
| 驅動速度 | CNC型 | 大40mm/s | ||
| 操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
| 測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
| 測量方向 | 向前/ 向后 | |||
| 直線度 | (使用標準測針) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驅動長度 (mm) | |
| (使用二倍長型測針) | (0.2+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) | ||
| 精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驅動長度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驅動長度 (mm) | ||
| Z1 軸 (檢出器) | 測量范圍 | (使用標準測針) | 12mm | 12µm |
| (使用二倍長型測針) | 24mm | 24µm | ||
| 分辨力 | (使用標準測針) | 0.004 µm | 0.001 µm | |
| (使用二倍長型測針) | 0.008 µm | 0.002 µm | ||
| 測針針尖垂直運動 | 弧形移動 | |||
| 長度基準 | 激光全息測微計 | |||
| 精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) | ||
| 測力 | (使用標準測針) | 4mN (固定) | ||
| (使用二倍長型測針) | 0.75mN(固定) | |||
| 跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據(jù)表面粗糙度) | |||
| 測針針尖形狀 | 標準測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | ||
| 標準球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針 | |||
| 2倍測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | |||
| 2倍測針 | - | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 | ||
| 2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 | |||
| 測針方向 | 向下 | |||
| Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
| Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
| 分辨力 | 0.05µm | |||
| 長度基準 | 反射型線性編碼器 | |||
| 驅動速度 | CNC型 | 大200mm/s | ||
| 操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
| 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
| 基座材料 | 花崗巖 | |||
注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同，但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的。
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