SI6000激光干涉儀介紹：

SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

1、可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

2、可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3、可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

4、可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

5、具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

6、支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SI6000激光干涉儀優(yōu)點：

SI6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

SI6000激光干涉儀線性測量：

SI6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SI6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量速度：4m/s

SI6000激光干涉儀角度測量：

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動過程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運算處理，即可得出對應(yīng)的角度值

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

SI6000激光干涉儀直線度測量：

直線度干涉鏡在移動過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運算處理，即可得出對應(yīng)的直線度值。

直線度測量

注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀平面度測量：

平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

SI6000激光干涉儀垂直度測量：

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量

注：R為垂直度結(jié)果；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

主機

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH(0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa(65~115)kPa

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

轉(zhuǎn)速：10rpm

跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

SI6000激光干涉儀配置清單：