分辨率:0.0002mm
準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中L為被測長度,單位為mm)
工作臺(tái)
方工作臺(tái)尺寸:260mm×270mm
方工作臺(tái)承放工件高度:140mm
工作臺(tái)承重:40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30′
物鏡

頂針架
夾持直徑:φ100 mm
夾持長度:700mm
高頂針架
夾持直徑:φ250 mm
夾持長度: 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測量范圍:0°~360°
角度測量分辨率:5″
角度測量準(zhǔn)確度:30″
CCD 攝像頭
1/3″黑白(或彩色)CCD,像素?cái)?shù):795×596
光學(xué)定位器
探測孔徑: φ5mm
探測深度:15mm
測量力:0.1N
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm
環(huán)境要求 : 室溫20±1℃,相對濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量: 450kg




































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