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公司介紹主營產(chǎn)品

東莞市藍(lán)海精密檢測(cè)設(shè)備科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱藍(lán)海）專業(yè)從事工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)線上高精密檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈建設(shè)維護(hù)等業(yè)務(wù)。在勞動(dòng)力日益緊張的今天，我們?yōu)槠髽I(yè)實(shí)現(xiàn)機(jī)器換人提供專業(yè)集成解決方案。

*的工業(yè)制造依賴于三個(gè)領(lǐng)域：一是新型材料；二是精密制造；三是精密檢測(cè)。中國制造2025目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)離不開精密檢測(cè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我們致力于成為中國精密光學(xué)檢測(cè)解決方案集成商，推動(dòng)中國精密光學(xué)檢測(cè)行業(yè)向更高更精密方向發(fā)展。公司白光同軸光譜共焦技術(shù)，將精密光學(xué)的在線檢測(cè)精度帶入納米級(jí)領(lǐng)域，以滿足高精度、高標(biāo)準(zhǔn)、高效率的現(xiàn)代化科技需求，促進(jìn)工業(yè)多領(lǐng)域產(chǎn)品的迭代和改革。藍(lán)海人堅(jiān)持“專注協(xié)作，知行合一”的經(jīng)營理念，與中國制造一同揚(yáng)帆遠(yuǎn)航，屹立于世界制造之林。

點(diǎn)擊展示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

將共焦共焦原理和白光光譜干涉法結(jié)合使機(jī)構(gòu)震動(dòng)對(duì)測(cè)量的結(jié)果不產(chǎn)生影像不需要垂直掃描達(dá)到亞納米級(jí)分辨率，最小可測(cè)厚度 0.4 μm的透明體厚度傳感器自身原理可達(dá)納米級(jí)分辨率共焦可以保證點(diǎn)與點(diǎn)之間不出在相互干擾超高測(cè)量精度，厚度測(cè)量時(shí)達(dá)到0.3nm分辨率,10nm 測(cè)量精度

白光光譜干涉?zhèn)鞲衅?產(chǎn)品詳情

白光光譜干涉測(cè)量原理

STIL干涉位移傳感器計(jì)算基于白光干涉光譜分析（SAWLI）原理，它通過分析由分光儀獲得的干涉波形來測(cè)量參照板與標(biāo)的物之間的空氣層間隙。其*性在于將參照版與標(biāo)的物固定為一個(gè)整體，因?yàn)閰⒄瞻搴蜆?biāo)的物是一個(gè)整體，當(dāng)測(cè)量設(shè)備有震動(dòng)的時(shí)候，這個(gè)整體的兩個(gè)部分的距離不會(huì)發(fā)生任何變化，從而達(dá)到有效防止機(jī)構(gòu)震動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影像。

此干涉信號(hào)是一個(gè)通道截止光譜，通過采用七步相移算法對(duì)干涉光譜進(jìn)行計(jì)算，使傳感器獲得亞納米的測(cè)量分辨率。

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控制器技術(shù)規(guī)格

測(cè)量頻率	2000HZ
波長(zhǎng)范圍	400-900nm
光譜分辨率	0.63nm/pixel
光源	鹵素?zé)?/td>
信號(hào)輸出	網(wǎng)口/RS232
外部觸發(fā)I/O	1input(TTL)/1 output(TTL)
光纖線	E2000(標(biāo)準(zhǔn)或鎧甲）
相對(duì)濕度	5%-80% HR無冷凝
工作溫度	5-50℃
外觀尺寸	376mm363mm114mm
重量	6KG
測(cè)量模式：距離/厚度	1、光譜共焦測(cè)量 2、光譜干涉測(cè)量

測(cè)量頭技術(shù)參數(shù)

OPILB Line
型號(hào)	OPILB-RP		OPILB-LWD-D		OPILB-LWD-T			OPILB
測(cè)量模式	位移		位移		厚度			厚度
量程（μm）	135		135		-			-
工作距離（mm）	9.7		4.6		9.2			42
可測(cè)傾角（°）	±17		±17		±17			±5.4
參考板(1)	Yes		No		No			No
放大器型號(hào)	MG210	MG140	MG210	MG140	MG70	MG35	MG20	-
光斑尺寸（μm）(3)	3.8	5.7	3.8	5.7	11.4	22.9	40.2	32
橫向分辨率（μm）(2)	1.9	2.8	1.9	2.8	5.7	11.4	20	20
外形尺寸
長(zhǎng)(mm)(4)	200	164	200	164	131	100	84	145.5
直徑(mm)(4)	27	27	27	27	27	27	27	27
重量(g)	200	127	200	127	126	67	52	155
性能參數(shù)
位移模式
靜態(tài)噪音(nm)(5)	0.5		2		-			-
精度（nm）（6）	10		10
粗糙度測(cè)量(7)	NR		NR
厚度模式
最小可測(cè)厚度（μm）(8)	-	-	-	-	0.4	0.4	0.4	0.4
可測(cè)厚度（μm(8)）	-	-	-	-	90	90	90	90
靜態(tài)噪音(nm)(5)	-	-	-	-	0.3	0.3	0.3	0.3
精度（nm）（6	-	-	-	-	10	10	10	10

(1)參考板直接放在樣品上。OPILB-RP的參考板作為參考。它彌補(bǔ)了掃描系統(tǒng)的機(jī)械缺陷
(2)橫向分辨率定義為光斑直徑的一半
(3)在量程中心位置測(cè)量的光斑尺寸，無衍射(參考值)
(4)長(zhǎng)度和重量不包含光纖線
(5)在靜態(tài)樣本上測(cè)量的RMS噪聲水平。在位置的樣品上，以速采樣頻率進(jìn)行測(cè)定
(6)精度是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)觀察到的誤差，是通過和1nm精度的編碼器比較校準(zhǔn)
(7)R=推薦用于測(cè)量金屬樣品(這些樣品可以用完整的性能進(jìn)行測(cè)量);NR=不建議測(cè)量金屬樣品(這些樣品可以測(cè)量，但性能降低)
(8)在的速度下，測(cè)量范圍的中心，測(cè)量的典型值，不加平均。折射率=1.5個(gè)樣本（測(cè)量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時(shí)）；
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。

測(cè)量應(yīng)用案例

采用光譜干涉?zhèn)鞲衅魑灰颇Ｊ綔y(cè)量

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采用光譜干涉?zhèn)鞲衅骱穸饶Ｊ綔y(cè)量

關(guān)鍵詞：位移傳感器標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
激光干涉儀直供，工程師現(xiàn)場(chǎng)完成設(shè)備定位	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2026-09-18	在線詢價(jià)
立式接觸式干涉儀庫號(hào)：M413676	￥63800	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-05-25	在線詢價(jià)
prometec PD2000	面議	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2021-03-10	在線詢價(jià)
平臺(tái)式邁克爾遜干涉儀型號(hào)：UKMG-1	面議	北京市	北京中慧天誠科技有限公司	2017-06-28	在線詢價(jià)

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