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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司由瑞典Hot Disk有限公司，英國(guó)THT有限公司共同注資成立的。公司開發(fā)、制造并銷售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器，同時(shí)是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM＋Raman＋I(xiàn)R＋SEM/SPM一體連用測(cè)試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶，并在英國(guó)、美國(guó)、德國(guó)、日本等二十個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開發(fā)、制造并銷售基于瞬變平面熱源技術(shù)（TPS）的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散率和比熱容的測(cè)試儀器；英國(guó)THT公司是一家專業(yè)開發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢和產(chǎn)品檢測(cè)服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（NSOM）技術(shù)和原子力顯微鏡（AFM）相技術(shù)相結(jié)合的*，NANONICS憑借著實(shí)力和品質(zhì)，其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè)，從生物學(xué)到半導(dǎo)體，從化學(xué)制品到無(wú)線電通訊，應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù)，包括Nanonics系列電鏡（AFM、SPM）與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機(jī)，具有很高的性價(jià)比和競(jìng)爭(zhēng)力。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

SAL-3000PlusALD原子層沉積...

SAL-3000PlusALD原子層沉積... 產(chǎn)品詳情

SAL-3000Plus ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子層沉積系統(tǒng)，可通過(guò)連接STR2000轉(zhuǎn)移單元，與退火設(shè)備SAN2000Plus，鍍膜設(shè)備，SVE2000Plus蒸鍍?cè)O(shè)備，SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控濺射設(shè)備搭配；

SAL-3000pus+轉(zhuǎn)移倉(cāng).png

SAL-3000Plus SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

性能及特點(diǎn)：

1.鍍膜質(zhì)量高
· 膜厚均勻性≤3% @ 100mm
· 對(duì)于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性；
· 膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個(gè)原子層；
· 大面積制程可達(dá)到無(wú)孔洞薄膜（Pin Hole free）
· *的重復(fù)性及穩(wěn)定性
· 材料缺陷密度低
· 可成長(zhǎng)非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度）
2.兩種成膜方向可選
· 可選擇將薄膜沉積在基底上表面和基底下表面，薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險(xiǎn)。
3. 可通過(guò)STR2000與其它Plus系列設(shè)備串聯(lián)
4.最多可搭載6路前驅(qū)體
5.優(yōu)異的真空性能：真空度≤5Pa
6.圖形用戶界面，觸控操作，簡(jiǎn)單易用，可存儲(chǔ)30多種鍍膜方案
7.與SAL3000相比，寬度減少了40％
6. 可搭配多種配件：
干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅(qū)體加熱器等，退火設(shè)備等；

SAL3000pLUS配件.gif

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 真空泵臭氧發(fā)生器加熱器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
熱墊式治療溫度測(cè)試裝置操作簡(jiǎn)單	￥786000	菏澤市	山東賽銳特檢測(cè)儀器有限公司	2026-04-18	在線詢價(jià)
TONY扭力測(cè)試儀型號(hào):TONY-HP-10	￥3600	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2025-09-01	在線詢價(jià)
PlasmaPro 1000	面議	上海	牛津儀器科技（上海）有限公司	2023-07-19	在線詢價(jià)
鈉離子濃度計(jì) 型號(hào)：KG/DYI-A	面議	北京市	北京中慧天誠(chéng)科技有限公司	2017-05-09	在線詢價(jià)

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