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福芯科技總部座落在”東方之珠”中國香港,在北京、上海、成都設有分公司，是一家專注半導體行業(yè)、光電領域銷售和服務的設備整合科技公司，公司擁有一支經驗豐富的專業(yè)技術團隊，專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、3D封裝、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、集成電路、分立器件、物理、化學、生物等領域。為向客戶提供*的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎，福芯科技目前客戶遍及國內集團、科研院所和半導體、光電制造企業(yè)，已成功地服務于半導體大型工業(yè)客戶、、中國航天、中國航空、、中國兵器集團、各所、高校和制造企業(yè)等眾多合作伙伴福芯科技秉承“客戶至上、專業(yè)服務，用心服務”的宗旨，為客戶提供快捷技術服務和品質設備方案。

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產品簡介在線詢價

URE-2000B

URE-2000B 產品詳情

主要產品技術特征及指標：

●采用技術--積木錯位蠅眼透鏡(109個)消衍射和線條陡直增強技術，
提高實用光刻分辨力。
●采用i線(365nm)紫外曝光光源和*的光學系統(tǒng)實現(xiàn)高均勻照明，光
源聚光角小，平行性好。
●配備雙目雙視場顯微鏡和CCD圖像對準系統(tǒng)，采用22寸寬屏液晶顯示
器，可同時觀察實時對準過程，也可存儲記錄曝光結果。
●采用三點式加球氣浮調平機構自動樣片調平，對大小樣片具有高調平
精度。
●曝光參數(shù)設定采用計算機控制，智能化過程操作，菜單界面友好。
●關鍵器件采用進口國際品牌產品，整機可靠性高。
●支持真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種
功能。
●曝光面積：150mm×150mm；對準精度：≤±0.8 μm。
●掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸。
●光刻分辨力：0.8-1 μm（膠厚2 μm的正膠）。
●曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s-9999s任意設定，設定精度0.1s。
●膠厚：500 μm(SU8膠，用戶提供勻膠條件)。
●汞燈功率：1000W（直流，德國歐司朗，長壽命型）。
● 照明不均勻性： 2.5%（Φ100mm 范圍），5%（Φ150mm范圍）。

關鍵詞：顯微鏡

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