的步,高精度測(cè)量及 130 mm 掃描路徑
MarSurf UD 130 通過(guò)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元解決方案 MarSurf LD 130 / LD 260 和新標(biāo)準(zhǔn)組合測(cè)量站 MarSurf VD 140 / 280 之間的空白。
MarSurf UD 130 的技術(shù)規(guī)格是以高質(zhì)量的干涉測(cè)頭系統(tǒng)為基礎(chǔ),測(cè)量和定位速度快,可以減少每個(gè)工件的測(cè)量時(shí)間。

優(yōu)點(diǎn):
一步完成粗糙度和輪廓測(cè)量,高測(cè)量和定位速度可大幅減少測(cè)量時(shí)間
創(chuàng)新的測(cè)頭系統(tǒng)解決方案,快速可靠的測(cè)桿更換,磁性支架同步檢測(cè)測(cè)桿
訂貨號(hào) | 6720823 |
定位速度 | 0.1 - 30 mm/s (X) |
掃描長(zhǎng)度末尾(X方向) | 130 mm |
測(cè)量速度 | 0.1 - 5 mm/s |
測(cè)量范圍 | 10mm |
測(cè)量范圍 | 20mm |
導(dǎo)塊偏差 | 0.4 µm / 140 mm |
輪廓分辨率 | 2nm |
掃描長(zhǎng)度 | 0.1mm至130mm |
測(cè)量范圍 mm | 1500 µm (±750 µm),用于 135 mm 測(cè)針長(zhǎng)度 |


































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