流量范圍:0-30 SLPM 最小流量范圍:010SCCM
韓國萊因泰可( LINE TECH )高精度氣體質(zhì)量流量計/氣體質(zhì)量流量控制器,廣泛應用于所有工業(yè),氣體混合及分析 ,半導體工業(yè),光纖,燃料電池,反應器系統(tǒng),氣體的混合系統(tǒng)。產(chǎn)品設計堅固、耐用,且經(jīng)濟。
優(yōu) 勢:
l 測量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統(tǒng)
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(90公斤)
l 量程范圍廣:10SLPM ~ 30SLPM 之間可選/
l 兩種輸入輸出信號:0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式:+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接: 15 針(D型插頭)
l 快速響應時間兩種:< 1 秒 or <2秒 可選
l 高重復性(±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇:SWL: 1/4″、1/8″、3/8″
VCR : 1/4″
規(guī) 格:
| 型號 | M3030V |
| 流量范圍(N2) | 0~30 SLPM |
| 響應時間 | <1 秒 |
| 精確度 | ±1% |
| 重復精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作壓力 | 90 Bar |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~99% |

































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