緒論
ZFH-3復(fù)合中真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測量儀，配用ZJ-54D熱偶規(guī)管及ZJ-10中真空電離規(guī)管，能測量267～1X10^-4Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機(jī)，ZFH-3復(fù)合中真空測量儀具有許多**性能：
 采用單片微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，真空度讀數(shù)數(shù)字顯示，測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
 電離規(guī)管的除氣可以自動或手動進(jìn)行。
 量程自動切換。當(dāng)真空度下降，**出電離規(guī)管測量范圍時，儀器可以自動停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時，則可自動啟動電離部分工作。
 采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定，簡單、方便、直觀、準(zhǔn)確。
 真空度單位自動轉(zhuǎn)換。
 具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。
 帶有三個繼電器觸點，動作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
 當(dāng)真空度高于10-2Pa時，可以自動標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。
 儀器帶有RS—232或RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口，與上位計算機(jī)通訊方便。
 由于采用單片微機(jī)作為儀器的控制單元。ZFH-3復(fù)合中真空測量儀除了上述特點外，它的另一個顯著特點是軟件可修改性強(qiáng)，可以在基本不動或少動儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下，修改儀器功能，創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件：
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍：  101KPa～0.1  Pa
     　　  測量誤差： 267～1  <±20%
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍：    30mA±2.4mA 由數(shù)字設(shè)定
              調(diào)節(jié)精度： <±0.5%　±2字
2.1.3 配用規(guī)管:   ZJ—54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分：
2.2.1 真空度測量范圍： 10～1X10-4Pa
     測量誤差： ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流：   50μA±3%(10-1～10-3 Pa)
    500μA±3%(10-4Pa)
2.2.3 柵極電壓：  165V　±1%
2.2.4 自動除氣啟動真空度：  10-3Pa
2.2.5 自動除氣時間： 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管：  ZJ-10
2.3 控制觸點：
2.3.1 控制觸點數(shù)：  3
2.3.2 控制觸點容量： 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境：
2.4.1 環(huán)境溫度：  +5～35度
2.4.2 相對濕度：  <85%(25度)