1. 用途及使用范圍

本儀器配用ZJ—54D熱偶規(guī)管和ZJ—10中真空電離規(guī)管，用于測量260～10^－4Pa范圍的真空度。熱偶部分真空度測量范圍為260～10^－1Pa。中真空電離規(guī)部分真空度測量范圍為10～10^－4Pa。

2. 主要技術(shù)指標：

2.1 熱偶部分:

2.1.1 真空度測量范圍                          260～10^－1Pa

2.1.2 加熱電流：                  30mA±2.4mA

2.1.3 配用規(guī)管：                  ZJ—54D熱偶規(guī)管

2.2 中真空電離規(guī)部分:

2.2.1 真空度測量范圍:         10～10^－4Pa

2.2.2 加速電壓:                    165V±2%

2.2.3 陰極電壓:                     50V± 2%

2.2.4 發(fā)射電流:                     50μA ( 10～10^-3Pa)

                                          500μA(10^-4Pa)

2.2.5 微電流放大器測量誤差:         <5%

2.2.6 除氣方式:                     轟擊除氣，功率≤35W

2.3 儀器使用條件:

2.3.1 工作電源:                    交流220V±5%   50Hz

2.3.2 環(huán)境溫度:                     0 ～35℃

2.3.3 相對濕度:                     <80%(25℃)

2.3.4 工作環(huán)境內(nèi)應(yīng)無強烈機械振動和外加磁場。

3.結(jié)構(gòu)原理

本儀器由二大部分組成:

3.1 熱偶部分

熱偶部分是根據(jù)氣體熱傳導(dǎo)在低真空條件下與氣體壓強有關(guān)的原理工作的在熱偶規(guī)管內(nèi)封裝了一根用于加熱的電阻絲及一對熱偶。測量時，一般是以一恒定電流去加熱電熱絲.由于在不同真空度條件下，加熱絲通過氣體傳遞的熱量不同，所以電阻絲上的溫度是真空度的函數(shù)，這樣，熱電偶輸出的熱電勢也是真空度的函數(shù)。測量電路由加熱電流穩(wěn)定電路和熱偶電勢測量電路組成。前者送出一恒定電流到規(guī)管加熱絲，后者測量規(guī)管送出的熱偶電勢，放大器輸出電壓由表頭指示即可讀得真空度的數(shù)值

3.2 電離部分

該部分由穩(wěn)發(fā)射電流電路，加速極電壓穩(wěn)定電路，微電流放大電路以及規(guī)管除氣電源,規(guī)管保護電路5部分組成。其原理框圖如圖一所示

圖1. 電離部分原理框圖

該部分電路提供了中真空規(guī)工作所**須的電源及離子流測量電路

儀器前面板如圖二所示

圖2. 儀器前面板示意圖

圖中：

1. 加熱電流調(diào)節(jié)旋鈕。

2. 總電源開關(guān)

3. 熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān)

4. 電離部分電源開關(guān)

5. 電離部分除氣開關(guān)

7. 除氣電流調(diào)節(jié)旋鈕

8. 測量倍率選擇旋鈕

9. 電離部分顯示表頭

10. 熱偶部分顯示表頭

儀器后面板如圖三所示

圖3. 儀器后面板示意圖

圖中

1. 熱偶規(guī)管聯(lián)接電纜插座

2. 電源插座

3. 保險絲

5. 電離規(guī)管聯(lián)接電纜插座

6. 收集極插座

4.使用方法

4.1 規(guī)管安裝

將規(guī)管封接于真空系統(tǒng)。電離規(guī)管應(yīng)垂直安裝。如因安裝位置影響不能垂直安裝則規(guī)管燈絲平面應(yīng)與重力方向平行。

4.2 熱偶部分使用方法

4.2.1加熱電流調(diào)節(jié)——調(diào)整加熱電流有二種方法：

4.2.1.1 按規(guī)管給出的電流調(diào)節(jié):

按住面板上的熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān)，調(diào)節(jié)“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕使電流為規(guī)管給定的電流。

4.2.1.2 調(diào)高真空時的滿度值：

將規(guī)管抽**<10^-2Pa高真空，調(diào)節(jié)面板上的“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕，使表頭指針指向滿度。再按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān)，此時電表指示值即為加熱電流值。

一般情況下，加熱電流為30mA 左右。工作時若需了解儀器工作情況，可按下電流—測量開關(guān)，如該值為30mA±1.5mA則視為正常。

4.2.2真空度測量

將規(guī)管與儀器聯(lián)接好后，則電源開啟后，表頭指示即為真空度。

4.3 電離部分使用方法

本儀器發(fā)射電流及放大器的零點及滿度出廠時均已調(diào)整完畢，用戶使用時不需調(diào)整，使用極為方便。

4.3.1 測量真空度:

開機后可將電離規(guī)管離子流測量倍率選擇開關(guān)撥向發(fā)射電流檔，觀察表頭應(yīng)指向中間紅線附近。然后選擇合適的測量倍率，表頭上指示的即為真空度數(shù)值。

4.3.2規(guī)管除氣

一般不需對規(guī)管除氣，當(dāng)真空度優(yōu)于10^－3Pa時，可根據(jù)需要對規(guī)管除氣。具體步驟如下：

4.3.2.1 將電離部分測量倍率開關(guān)拔向“發(fā)射電流”檔；

4.3.2.2 把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底；

4.3.2.3 按下除氣開關(guān)，除氣開關(guān)指示燈亮；

4.3.2.4 緩慢旋轉(zhuǎn)“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕，觀察加速極轟擊**暗紅為止。電流一般在16mA左右(表頭指示在8mA，即16%左右，除氣時表頭滿度為100mA)。注意掌握除氣時間，防止規(guī)管暴裂(一般2～3分鐘，時間不夠可以多次除氣)。

停止除氣時應(yīng)先把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底，再次按下除氣開關(guān)，除氣開關(guān)指示燈滅，然后再把測量倍率開關(guān)拔向合適的量程檔。

4.4 電離部分過量程保護

當(dāng)離子流大于滿量程離子流4倍時，儀器自動切斷電離部分電源。重新啟動前應(yīng)首先檢查量程選擇是否合適，外接引線是否正常。然后開,關(guān)電離開關(guān)一次，儀器恢復(fù)正常工作。

5. 儀器成套性

5.1 FH-3中真空復(fù)合計                        一臺

5.2 ZJ—54D 熱偶規(guī)管：                  一支

5.3 ZJ—10電離規(guī)管              　　　  一支

5.4 規(guī)管電纜線                                  三根

5.5 電源線                             一根

6 .維護，儲存和運輸

6.1 本設(shè)備在使用過程中**須正確操作和維護，并防止灰塵與潮氣侵入

6.2 在長期使用后應(yīng)作內(nèi)部檢查，**內(nèi)部所積塵污。

6.3 設(shè)備應(yīng)存放在環(huán)境溫度為+10-35 ℃，相對濕度<80%和無腐蝕性氣體及油蒸汽，無強烈電磁場與機械振動，并具有良好通風(fēng)的室內(nèi)。

6.4 運輸時設(shè)備應(yīng)裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內(nèi)，包裝好的設(shè)備與箱壁間應(yīng)放有清潔干燥的防振物，運輸箱外應(yīng)標有"向上"，"小心輕放"等標記。