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CentroTherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18753
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公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備,以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院,美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開(kāi)發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理,形成完整的專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶(hù)提供更為*的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類(lèi),光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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centrotherm臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200是大量現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證及具有多功能的臥式爐系統(tǒng),基于客戶(hù)需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類(lèi)型機(jī)臺(tái)
CentroTherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200 產(chǎn)品詳情
centrotherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO 200 是大量現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證及具有多功能的臥式爐系統(tǒng),基于客戶(hù)需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類(lèi)型機(jī)臺(tái)。為AP、LP和PECVD等多種工藝應(yīng)用提供了可靠的工藝能力和很高的工藝性能。此外,同一系統(tǒng)不同工藝爐管可以匹配相關(guān)設(shè)施(大氣、真空或混合)配置不同的工藝。

所有的爐管均配備一個(gè)綜合的晶舟處理系統(tǒng),其可以存放多達(dá)8個(gè)工藝晶舟,同時(shí)也集成有一個(gè)晶圓傳輸系統(tǒng)。水冷式加熱器外殼和軟著陸系統(tǒng)設(shè)計(jì)能限度排除外部環(huán)境影響。且易于維護(hù),能確保低維護(hù)成本及高的正常運(yùn)行時(shí)間。

產(chǎn)品適用于退火、擴(kuò)散、氧化、低壓化學(xué)氣相沉積、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等工藝。

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

大氣壓加工、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積加工與低壓化學(xué)氣相沉積加工
能提供多種加工腔方案
*的水冷卻系統(tǒng)保證不同的工藝爐管之間無(wú)熱干擾

模塊化部件設(shè)計(jì),便于在潔凈室內(nèi)安裝與啟動(dòng)生產(chǎn)

CentroTherm 臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)HORICOO200

關(guān)鍵詞:加熱器
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