The SUSS MA/BA6 SUSS MA/BA6 掩模對(duì)準(zhǔn)器被廣泛認(rèn)為是半導(dǎo)體微米研究和微系統(tǒng)生產(chǎn)的基準(zhǔn)。憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì),該平臺(tái)可滿足客戶對(duì)精度、靈活性和低成本的需求。 在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中,在 MA/BA6上設(shè)計(jì)的工藝很容易轉(zhuǎn)移到自動(dòng) SUSS 掩模對(duì)準(zhǔn)器上進(jìn)行批量生產(chǎn)。
主要特色: +頂面/底面/紅外線對(duì)準(zhǔn) +定制照明可減少衍射曝光光學(xué) +手動(dòng)或自動(dòng)臺(tái) +從 2mm到150mm 的晶圓或方形加工 +處理易碎、翹曲或不平整的晶片和碎 片 +頂部小至幾毫米的碎片通過底邊對(duì)齊 +高精度鍵合對(duì)準(zhǔn) +用于全晶圓納米范圍的壓印光刻





























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