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公司介紹主營產(chǎn)品

上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學軟件等產(chǎn)品進口的技術(shù)貿(mào)易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系；目前服務于國內(nèi)從事微電子、半導體、光學、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學。主要產(chǎn)品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學束沉積設(shè)備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品，光學設(shè)計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設(shè)計軟件等。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

關(guān)鍵詞:MPCVD

微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)用于納米晶金剛石合成（MPCVD）產(chǎn)品詳情

關(guān)鍵詞: MPCVD, MWCVD, MPACVD, MPECVD, CVD金剛石、微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)

CVD金剛石合成設(shè)備、納米晶金剛石、超納米晶金剛石、UNCD、NCD、MCD、

Microwave Plasma Assited/Enhanced Chemical Vapor Deposition System

微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)用于沉積納米晶金剛石，設(shè)備特點概述如下：

適用范圍：生長大面積金剛石薄膜(4-8英寸，甚至更大)

生長速度：可高達several μm/h，甚至更高；

生長范圍：可在直徑100mm范圍內(nèi)生長、或者在直徑200mm范圍內(nèi)生長。

晶粒大?。撼{米晶、納米晶、微米晶

研究及小規(guī)模生產(chǎn)型：

功率：2.45GHz，6KW；

加熱襯底：3’’-4’’ diameter, 襯底旋轉(zhuǎn)、偏壓電極可選；

真空泵：機械泵（油泵或干泵），TMP可選；

氣路：CH4，H2，Ar; 更多可選.

控制方式：半自動或全自動；

生長速率：可達5μm/h

整體特點：用于MEMS領(lǐng)域

大規(guī)模大面積生產(chǎn)研發(fā)型：

微波功率：915MHz，35KW；

襯底：直徑200mm或更大; 襯底加熱或旋轉(zhuǎn)可選（或多個襯底旋轉(zhuǎn)機構(gòu)）；偏壓可選

真空系統(tǒng)：油泵或干泵+TMP；

控制系統(tǒng)：全自動控制；

工藝氣路：CH4，H2，Ar;更多可選；

生長速率：5μm/h，更高可能

襯底材料：請咨詢我們！

整體特點：專門大面積納米晶、超納米晶金剛石薄膜研究及生產(chǎn)配置；可獲得4’’-8’’wafer，可用于MEMS領(lǐng)域.

關(guān)鍵詞：真空泵控制系統(tǒng)

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產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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