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公司介紹主營產(chǎn)品

上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產(chǎn)品進口的技術(shù)貿(mào)易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系；目前服務于國內(nèi)從事微電子、半導體、光學、納米技術(shù)等領域的研究所和大學。主要產(chǎn)品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品，光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

關鍵詞:MPCVD

MPCVD 設備用于金剛石單晶生長及摻雜研究（研發(fā)型）產(chǎn)品詳情

關鍵詞: MPCVD, MWCVD, MPACVD, MPECVD, CVD金剛石、微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)

CVD金剛石合成設備、納米晶金剛石、超納米晶金剛石、UNCD、NCD、MCD、

Microwave Plasma Assited/Enhanced Chemical Vapor Deposition System

超高純度單晶、半導體、摻雜、B-doping、N-doping、藍鉆、粉鉆、黃鉆

型號：BJS150，產(chǎn)地：歐洲

主要技術(shù)指標：

微波發(fā)生器：6 KW, 2.45GHz，脈沖功率模式可選

Ripple 2% at full power,

stability 1% at full power.

鐘罩型腔體：非常適合生長單晶和摻雜。

支持高功率密度等離子體

工藝氣壓：高達300mbar或更高
生長速率：高達50μm/h

氣路：4條基本氣路，分別為H2, O2, CH4, Ar;

可以最多增加額外3條氣路

樣品臺：適合兩英寸襯底，高度精密可調(diào)，襯底旋轉(zhuǎn)可選

溫度測試：采用雙色紅外高溫計，范圍475℃-1475℃

精度 ≤±10℃。

真空系統(tǒng)：采用分子泵+干泵

真空度≤5×10^-7mbar

漏率 ≤10-9 mbar/l/s.

控制系統(tǒng)：配套有全自動控制系統(tǒng)、工業(yè)電腦、必要的數(shù)據(jù)接口及操作軟件；

支持多級用戶權(quán)限設置和多用戶管理，系統(tǒng)支持設備的遠程操作和維護；

系統(tǒng)含故障報警及定位功能，能及時提示相應故障部件。

支持半自動和手動操作模式。

設備應用：具備多種用途，以滿足用戶科研需要；

適合生長雜質(zhì)濃度低于1ppb的超高純度單晶，且有大量專業(yè)科技文獻佐證；

適合金剛石摻雜（硼、磷等）研究及光學級多晶窗口生長。

工藝培訓：原廠工程師現(xiàn)場演示金剛石生長，包括種子選擇、種子預處理、

種子的固定及生長工藝等培訓，并現(xiàn)場演示單晶生長；

原廠需具有高水平和豐富的金剛石生長工藝經(jīng)驗。

關鍵詞：發(fā)生器控制系統(tǒng)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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