3. 可通各種氣氛,抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵,可達10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結(jié)構(gòu)),耐高溫、耐腐蝕;
5、保護管采用耐高溫合金管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇,降低溫度;
8、真空系統(tǒng):機械泵 擴散泵和分子泵,真空密度計
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試;
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)參數(shù):
| 型號/model | WBMW-QXCJ4 | ||
| 可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
| 微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
| 加熱方式 | 純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | ||
| 功率/KW | 4 (功率可調(diào)) | ||
| 溫度測試元件 | 微波場專用傳感器 | ||
| 控溫精度/℃ | ±2 | ||
| 加熱管材質(zhì) | 石英管 | 高溫合金管 | 剛玉管 |
| 加熱溫度/℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1600℃ |
| 管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm | ∅45/∅35×1200,可選配,外徑∅60mm | ||
| 加熱速度 | ≤200 | 升溫速率不限 | ≤50 |
| 恒溫區(qū)長度 | 標(biāo)配恒溫區(qū)長度100mm,恒溫去長度100mm~1000mm以上可選 | ||
| 溫區(qū) | 可多溫區(qū)同時加熱 | ||
| 氣路法蘭 | 不銹鋼法蘭 | ||
| 質(zhì)量流量控制 | 美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門,可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件 | ||
| 氣路數(shù)量 | 2路或3路(或多路) | ||
| 流量范圍 | 0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分,可選配)氮氣標(biāo)定 | ||
| 精度 | ±0.2%F.S | ||
| 響應(yīng)時間 | ≤1sec | ||
| 工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力),流量規(guī)格≤10SLM | ||
| 系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 | ||
| 規(guī)格 | 高真空 | ||
| 系統(tǒng)真空范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓~10-3Pa | ||
| 真空泵 | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空用高檔機械泵及真空計 10-2Pa真空用高檔機械泵、擴散泵及真空計 10-3Pa真空用高檔機械泵、分子泵及真空計 | ||
| 爐腔尺寸/mm | 700X350X530 | ||
| 加熱腔(標(biāo)配) | 0.5-3L 2個根據(jù)管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定 | ||
| 加熱腔大小 | 0.94L,2.12L,3.8L | ||
| 升溫速率(標(biāo)配) | 0~1000℃/min可根據(jù)實際任意設(shè)定,可編程、分段加熱 | ||
| 外型尺寸/mm | 1500′750′1560 | ||
| 微波泄漏/ mW/㎝ | ≤0.4 | ||
| 提供相關(guān)配件 | 防護手套×1、中文說明書×1 | ||
| 保質(zhì)期 | 整機免費保修1年 | ||




























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