iH600 iH600 半導體干式真空泵

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型號iH600
品牌
所在地上海
更新時間2022-07-24

上海赫哲真空設備有限公司

廠商性質經銷商
所在地區(qū)上海市
實名認證已認證
產品數(shù)量672
人氣值5666

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產品簡介在線詢價

Edwards 半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

iH600 半導體干式真空泵產品詳情

概述

Edwards 半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關任何特定應用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

數(shù)據(jù)


峰值速度	600 m3h-1
	353 cfm
	10000 l min-1
極限真空	7 x 10-4 mbar
	5.3 x 10-4 Torr
	0.07 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進氣口連接	ISO100
連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	240 l h-1
	4 l min-1
重量	415 kg
極限功率輸入	3.4 kW
電機額定功率	6.1 kW
油容量	1.43 l

數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

關鍵詞：真空泵標準

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