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公司介紹主營產(chǎn)品

皮肯儀器（上海）有限公司，集研發(fā)、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)于一體的規(guī)?；治鰞x器專業(yè)制造商，涵蓋色譜、光譜、水質(zhì)檢測，電化學，樣品前處理及相關(guān)配套產(chǎn)品，推動以技術(shù)創(chuàng)新實現(xiàn)分析檢測自動化、智能化的時代發(fā)展趨勢。專注于為科研工作者和質(zhì)量控制人員提供更便捷，更高效的產(chǎn)品及解決方案，致力于成為科學服務(wù)領(lǐng)域的變革者，秉持創(chuàng)新與匠心精神堅持掌握自主的核心技術(shù)，皮肯儀器愿與廣大客戶共同努力，為發(fā)展我國的科學儀器貢獻力量，擁抱科學儀器新未來！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

iH160 半導體干式真空泵產(chǎn)品詳情

概述

Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應(yīng)用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護。
懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

數(shù)據(jù)

峰值速度	165 m3h-1
	97 cfm
	2750 l min-1
極限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進氣口連接	ISO63
連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	244 kg
極限功率輸入	3.1 kW
電機額定功率	5.0 kW
油容量	0.85 l

數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

關(guān)鍵詞：真空泵標準

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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