特點：

1.8”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點干燥儀；

2.內部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng)，使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C；

3.Post-Purge 過濾器容易更換及維護；

4.內置SOTER^TM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

5.的樣品室填塊可以調整樣品室內徑到6”、4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達到;

6.可以一次干燥5片直徑為8”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑6”、4”、3”、7.2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；

8.內腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內部狀態(tài)；

9.通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性；

10.所有內表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；

11.可重復設定的操作參數(shù)確保了結果的可重復性；

12.集成自動控溫；

13.內置圓盤裂片保證安全；

14.靜態(tài)壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；

15.0.4μm內部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；

16.每個操作模式LED顯示，一目了然;

17.潔凈室和防靜電兼容設計；

18.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準；

規(guī)格：

1.外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；

2.安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；

3.樣品室尺寸：內徑8.50” × 深1.25”，樣品室容積：1162 ml;

4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；

5.LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制；

6.120V/50-60HZ(可選其他電壓)； 

標準配件：

1.高壓不銹鋼LCO2管（內襯Teflon） 3 米長；

2.外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預先與LCO2管連接，安裝方便；

3.安裝工具；

4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣；

5.內部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門

6.樣品室O型圈3個，樣品室照明燈2個，3A和8A保險絲各2個；

7.5個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;

8.直徑為8、6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容；

9.流量計，可精確控制BLEED的排氣速率；

10.用戶手冊；

11.所有部件一年質保。