· 壓力不敏感性能
高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統(tǒng)

· 多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

· G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能
*的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內(nèi)完成測試。

· 高精度
*的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

· 快速響應
響應時間：< 0.8 秒
可實現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

· 動態(tài)范圍
控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 99% 滿量程

HORIBA D500系列產(chǎn)品資料

壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500

型號：D512MG、D522MG

流量范圍100sccm-10SLM，精度±1%

特 征

· 壓力不敏感性

高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統(tǒng)

· 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案

新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應壓力范圍

· G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)

*G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力

· 高精度

*的三維調(diào)節(jié)已改進工藝氣體的流量精度

· 快速響應

響應速度＜0.8秒

已實現(xiàn)精準且穩(wěn)定的流量控制

· 動態(tài)范圍

控制范圍：0.2% F.S. ~ 99% F.S.

技術(shù)參數(shù)：