190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀

基于的技術(shù)，法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點(diǎn)，即插即用的適用類型適用于大多數(shù)用戶的應(yīng)用環(huán)境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀，SID4-UV和SID4-UV-HR。

相比之下，SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜，250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求，相比于SID4-UV-HR更具備成本效益，在滿足用戶使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶成本。

其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強(qiáng)款，該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著的相位分辨率（355×280取樣分辨率）、的相位靈敏度（優(yōu)于1 nm RMS）以及更大的靶面面積（13.8 x 10.88 mm2）。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差，波前曲線的波前探測需求。

高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

-天文觀測

-航空航天工業(yè)

-半導(dǎo)體加工

-工業(yè)激光

-光學(xué)元件及組裝

-增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)-虛擬現(xiàn)實(shí)

SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：

*使用電腦搭載SID4軟件環(huán)境下

高分辨率波前傳感器主要特點(diǎn)：

-190-400 nm紫外波段響應(yīng)

-1 nm RMS高相位靈敏度

-355 × 280超高相位取樣分辨率

紫外波前分析儀主要特點(diǎn)：

-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)

-2 nm RMS高相位靈敏度

-250 × 250超高相位取樣分辨率

高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：

-激光檢測

-自適應(yīng)光學(xué)檢測

-等離子體檢測

-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：

*使用電腦搭載SID4軟件環(huán)境下

高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：

-激光檢測

-自適應(yīng)光學(xué)檢測

-等離子體檢測

-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

-波前曲線檢測